概述

氣態分子污染物CF4泄漏分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術，結合量子級聯激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

氣態分子污染物CF4泄漏分析儀測量參數：

l響應時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設定。根據平均時間和采樣設定從大約10秒到幾分鐘不等

l 監測下限：小于0.1ppb

l動態量程：大于5個數量級（檢測下限的100,000倍)

l重復性：運行條件下，校準濃度重復性小于1%

l準確度：校準濃度高于5%，受限于校準氣體準確度

l溫度穩定性：在運行溫度范圍內的環境溫度變化不會導致漂移

l 壓力穩定性：壓力范圍內的樣品壓力變化不會導致漂移

優勢

l 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制

l 快速的響應時間，以捕捉濃度突然上升

l 獨立運行系統，內置氣體交換泵

l 無耗材或者化學試劑

l 短光程，單點校準也可達到業內水平的動態量程

l 直接吸收測量，無漂移

l 校準間隔長（可達數年）

l 高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾